上海凱世通半導體股份有限公司

上海凱世通半導體股份公司是一家以離子束技術爲核心的集科研、製造於一體的高科技企業，也是國內的全領域賽道離子注入機公司，主要研製、生產、再製造和銷售國際領先高端離子注入機，重點應用於半導體集成電路領域、光伏太陽能電池和新型平板顯示。在集成電路裝備領域，離子注入機應用於摻雜這道工序，具有極高的技術門檻，被譽爲皇冠上的明珠。

上海凱世通公司圍繞離子注入機設備專家，全面構建人才團隊，專業涵蓋了物理學、半導體技術、材料學、機械工程、自動控制、軟件工程等多個技術領域，將長期致力於具有世界領先水平的重大技術裝備—離子注入機的研發及產業化，實現代表中國自主創新的半導體裝備可持續發展，不斷推進中國製造向中國創造的完美轉變。

離子注入

在半導體晶圓製造中，由於純淨硅的導電性能很差，需要加入少量雜質使其結構和電導率發生改變，從而變成一種有用的半導體，這個過程稱爲摻雜。目前摻雜主要有高溫熱擴散法和離子注入法兩種，離子注入佔據著主流地位。

離子注入法

通過離子注入機的加速和引導，將要摻雜的離子以離子束形式入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子發生一系列理化反應，入射離子逐漸損失能量，並引起材料表面成分、結構和性能發生變化，最後停留在材料中，實現對材料表面性能的優化或改變。離子注入具備精確控制能量和劑量、摻雜均勻性好、純度高、低溫摻雜、不受注射材料影響等優點，目前已經成爲0.25um特徵尺寸以下和大直徑硅片製造的標準工藝。

開發難度

離子注入機與光刻機、刻蝕機和鍍膜機並稱四大核心裝備，開發難度僅次於光刻機。

用途

按下遊領域分類，目前離子注入機可用於衆多領域，包括集成電路與IGBT製造領域、太陽能電池生產領域、AMOLED面板製造等。

發展歷程

榮譽資質

發展歷程×

時間節點	關鍵事件	具體內容或經營成果
2022年10月	主流客戶陸續交付	凱世通繼4月起向重要客戶啓動交付設備，9月又向另一重要客戶完成低能大束流離子注入機交付。
2022年4月	批量訂單多套設備完成交付	凱世通已向客戶成功交付批量訂單中的多套設備，完成move in 儀式。
2022年1月	首獲重要客戶批量訂單	凱世通12英寸集成電路設備獲得重要客戶批量訂單，包含低能大束流離子注入機和低能大束流超低溫離子注入機。
2021年5月	低能大束流設備客戶驗證通過	凱世通首臺低能大束流離子注入機通過國內12英寸主流集成電路芯片製造廠的設備驗證並驗收。
2021年4月	集成電路業務展露鋒芒	凱世通獲2020年度上海市集成電路設備業銷售前十名的榮譽。
2020年12月	商業化進展重大突破	注入機的訂單總額超過1億元人民幣。
2020年9月	低能大束流設備客戶驗證	首臺低能大束流設備送入國內主要芯片製造工廠。
2020年10月	獲得iStellar-500 SEMI認證證書	展現了自身接軌國際的的科研能力，爲進一步實現技術突破和產品研發奠定了堅實的基礎。
2020年3月	榮獲北京市科技進步一等獎	凱世通的“大束流離子注入機裝備及工藝研發”項目榮獲北京市科技進步一等獎。
2020年9月	成功入選上海市“科技創新行動計劃”項目	凱世通的“集成電路設備射頻電源系統研發與驗證”項目入選上海市2020年度“科技創新行動計劃”。
2020年8月	重大技術突破	凱世通的“大束流離子注入機裝備及工藝研發”項目成功斬獲2019年度北京市科學技術進步一等獎。
2020年5月	北京凱世通半導體有限公司正式成立	“南北並舉”的佈局策略顯現，爲客戶帶來更加便捷、高效的服務。
2019年12月	集成電路離子注入機遷機成功	IC離子注入機搬進杭州灣潔淨室，進行晶圓驗證。
2019年10月	入選“科技創新行動計劃”	凱世通 “高能離子注入機關鍵技術研究與樣機驗證”項目被上海市科委技術委員會列入集成電路領域立項項目清單。
2019年8月	新產品iPV6000發佈	凱世通自主研發的新品iPV-6000成功推出，進一步提升其在光伏市場的競爭力。
2018年8月	V博国际企業收購凱世通	成爲V博国际企業全資子公司（證券代碼：600641）。
2017年7月	新品iPV-3000發佈	凱世通自主研發的新品iPV-3000成功推出。
2017年3月	凱世通股票掛牌成功	2017年3月24日起，凱世通股票在全國股轉系統掛牌公開轉讓。
2016年12月	iPV-2000量產	與泰州中來光電科技有限公司簽訂了設備批量採購協議，真正實現了從研發型企業到生產型高科技企業的成功轉型。
2013年2月	獲批上海市戰略性新興產業重大項目	由上海市發改委和市科委推薦正式進入自主知識產權的AMOLED離子注入機研發。
2012年12月	IonSolar?離子注入機在電池生產線得以認可	基於凱世通的離子注入機及相應的電池製作工藝實現330W電池組件輸出功率代表了行業此類電池的的最高水平。
2012年8月	IonSolar?太陽能離子注入機進入客戶端	凱世通自主研發的太陽能離子注入機IonSolar?進入客戶端產線，進行工藝認證。
2012年1月	獲批市科委成果轉化和產業化項目	作爲主承擔單位獲批上海市科委成果轉化和產業化項目，旨在高效晶硅太陽電池用離子注入系統產業化技術開發及應用。
2011年12月	新產品研發成功	具有世界領先水平的太陽能製程用高端離子注入機研發成功。
2011年3月	獲批國家重大科技專項	與電子科技集團48所合作，申請並獲準國家重大專項立項，研發用於集成電路離子注入機的世界先進大束流束線系統。
2011年1月	戰略夥伴增資	獲得美國Amtech公司增資 1億元人民幣，進入太陽能電池製程用離子注入機領域。
2010年6月	盈虧平衡	凱世通盈虧平衡。
2009年10月	戰略合作	與Axcelis戰略合作（世界排名第二離子注入機廠商）研發OHD低能束流的改進。
2009年4月	凱世通創立	由六位世界一流離子注入設備專家創立，共有超過100年研發製造與應用企業的工作經驗。

榮譽資質×

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